1、第一遍使用超纯水冲洗管内杂质，第二遍、第三遍使用双氧水清洗消毒，第四遍使用超纯水将管内双氧水残液冲洗干净。
2、第一遍清洗前应在不锈钢滤筒里的安装使用过的微孔滤棒专供清洗使用，清洗完成后正式使用前方更换锾哩菸谷全新微孔滤棒;纯水超纯水成套设备中的树脂罐严禁与清洗所用的双氧水溶液接触，清洗前树脂罐旁应安装管道旁通。
3、第二、三遍使用双氧水溶液清洗时，每次应使用双氧水溶液在管内循环半小时，然后停止循环关闭供回主管阀门，让溶液在管道中浸泡1小时。
4、第四遍清洗时，应使用冲洗的方式，冲洗时间不少于8小时，边冲边循环边在管道最末端放水。
5、整个清洗过程中，末端用水点进设备处都应先行关闭，同时在最后一遍冲洗时，应将每台设备用水点处进行排放，排放时间不少于0.5小时。
6、双氧水由于能够分解产生O2具有强氧化，能使有机色质褪色，所以具有漂白性，所以在操作过程中皮肤不应长期接触双氧水溶液，最好应戴上橡胶手套操作。
