1、单纯过滤处理 利用二级处理后的城市污水回用到对水质要求不太高的企业，一般电厂不会采用此项工艺，一般经过机械过滤及消毒，去除残余的悬浮物就可以了。通过过滤，将悬浮物降至10mg/L以下。消毒的目的是防止回用水系统中滋生微生物粘膜或藻类。
2、石灰混凝澄清过滤处理 一般的生物处理或二级处理，对氮、磷的去除效果差。含氮、磷量高的废水回用，则导致水体的富营养化，使水体中藻类大量繁殖，使水体受到二次污染。用石灰深度处理城市污水，不仅去除氮、磷，还有杀菌作用，可将大肠杆菌去除。同时也可除去污水中部分钙、镁、硅、氟、有机物和重金属。
3、吸附氧化处理 采用活性炭吸附或臭氧氧化，一般是去除残余溶解有机物及色素。
4、除盐处理 采用离子交换或膜法脱盐去除无机盐类等，提高循环冷却水的浓缩倍率。但需根据采用的系统增加枷讹般身相应的预处理。以上四种深度处理方法的选用是根据二级处理后的污水水质和经深度处理后的污水用途来决定的。其中吸附氧化处理和除盐处理是用于较高级的用户，如锅炉的补充水等，其处理系统比较复杂、投资很高。而随着水处理技术的发展特别是膜处理技术的应用，使得中水进行脱盐深度处理并用于循环水成为经济可行的方法之一。
